一种基于石墨烯的微测辐射热计

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专利名称 一种基于石墨烯的微测辐射热计 申请号 CN201521087866.7 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205607540U 公开(授权)日 2016.09.28 申请(专利权)人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明(设计)人 杨俊;汤林龙;冯双龙;魏兴战;史浩飞;杜春雷 主分类号 G01J5/20(2006.01)I IPC主分类号 G01J5/20(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I 专利有效期 一种基于石墨烯的微测辐射热计 至一种基于石墨烯的微测辐射热计 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种基于石墨烯的微测辐射热计,所述石墨烯微测辐射热计包括硅基底(101)、悬空孔(102)、悬空支撑层(103)、金属电极引线(104)、石墨烯红外敏感层(105)、石墨烯保护层(106)、悬空支撑层微孔(107)。该微测辐射热计采用石墨烯作为宽波段红外吸收敏感层,采用悬空支撑层微孔结构提高了红外探测灵敏度,结构简单,成本低,且具有优异的非制冷宽波段红外探测性能。

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