| 专利名称 | 一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法 | 申请号 | CN201610515722.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105973674A | 公开（授权）日 | 2016.09.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 谷立新;赵旭晁;林杨挺 | 主分类号 | G01N1/28(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;G01N23/225(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法 至一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种制备大面积透射电镜样品的方法，将样品切割研磨成长条，然后用氩离子束进行离子切割目标区域厚度到10μm；之后，把样品转移到离子束抛光设备上平整放置，样品台可以调节角度，且能够旋转和摆动，用氩离子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角对样品进行抛光减薄，用体视镜可以观察样品变化；最后用低电压的离子束进行样品的清洗，避免了样品制备过程中产生的非晶层，可以获得高质量具有大面积薄区的透射电镜样品，从而应用于矿物、陨石等复杂材料的透射电镜测试和结合纳米粒子探针/电子探针等原位分析技术中。 |
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