| 专利名称 | 一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件 | 申请号 | CN201620346187.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205583368U | 公开（授权）日 | 2016.09.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐天鸿;曹俊诚 | 主分类号 | H01S5/343(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S5/343(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/06(2006.01)I;H01S5/065(2006.01)I | 专利有效期 | 一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件 至一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件，所述器件包括：半绝缘GaAs衬底；位于该衬底上表面的GaAs缓冲层；位于该缓冲层表面的n型重掺杂下接触层；位于该下接触层表面的有源区；位于有源区表面的n型重掺杂上接触层；位于n型重掺杂上接触层表面且各自分隔的第一、第二、第三上电极金属层，第一上电极金属层与第二上电极金属层之间设有凹至GaAs缓冲层的深隔离槽，第三上电极金属层为退火后可形成高波导损耗的上电极金属层；以及位于n型重掺杂下接触层表面及有源区两侧的下电极金属层。通过本实用新型提供的一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件，解决了现有技术中无法测得THz?QCL在可工作电流密度范围内完整的增益谱变化情况的问题。 |
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