| 专利名称 | 晶圆清洗花篮 | 申请号 | CN201620206703.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205564720U | 公开（授权）日 | 2016.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 俞挺;张学敏;魏红霞 | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/673(2006.01)I | 专利有效期 | 晶圆清洗花篮 至晶圆清洗花篮 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆清洗花篮，用于装载待清洗的晶圆并浸入至清洗槽内的清洗液中，以对所述晶圆进行清洗，所述晶圆清洗花篮包括：清洗腔体，所述清洗腔体至少具有两相对的侧壁，每个所述侧壁上均开设至少一列第一插槽，所述晶圆通过插置于两相对配合的所述第一插槽之间，以在所述清洗腔体中容留。根据本实用新型的晶圆清洗花篮不仅可以批量清洗尺寸相同或不同的晶圆以及尺寸小于标准晶圆的晶圆碎片，还可以节约清洗剂用量、提高清洗质量。 |
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