| 专利名称 | 一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置 | 申请号 | CN201620237875.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205508767U | 公开（授权）日 | 2016.08.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 发明（设计）人 | 谢亚红;顾玉明;胡纯栋;谢远来;宋云涛 | 主分类号 | H01J37/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置 至一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置，包括有离子源，离子源上套设有压块座，压块座通过第一压紧螺栓向上固定在过渡法兰上，压块座与过渡法兰之间设有第一密封圈；所述过渡法兰通过第二压紧螺栓向上固定在插板阀的下法兰上，过渡法兰与插板阀的下法兰之间设有第二密封圈，插板阀的上法兰通过第三压紧螺栓向上固定在主真空室法兰上，插板阀的上法兰与主真空室法兰之间设有第三密封圈；所述离子源通过压紧密封装置实现自由伸缩长度及旋转，通过开关插板阀的阀芯实现离子源和主真空室之间真空联通和隔断。本实用新型装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且不破坏主真空室真空等功能的要求且结构简单安装方便。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障