一种长杆状可伸缩旋转型离子源

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专利名称 一种长杆状可伸缩旋转型离子源 申请号 CN201620237927.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205508760U 公开(授权)日 2016.08.24 申请(专利权)人 中国科学院等离子体物理研究所 发明(设计)人 谢亚红;顾玉明;胡纯栋;谢远来;宋云涛 主分类号 H01J3/04(2006.01)I IPC主分类号 H01J3/04(2006.01)I 专利有效期 一种长杆状可伸缩旋转型离子源 至一种长杆状可伸缩旋转型离子源 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源,包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座,以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管,离子源外部长杆上套设有压块座,压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上,压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈;离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上,灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管,离子源头部外壳固定在头部连接座上,头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本实用新型装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求,且结构简单安装方便。

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