一种氮化镓基绝缘栅双极晶体管

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专利名称 一种氮化镓基绝缘栅双极晶体管 申请号 CN201521006351.X 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205428936U 公开(授权)日 2016.08.03 申请(专利权)人 北京华进创威电子有限公司;中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 王晓亮;闫俊达;李百泉;王权;肖红领;冯春;殷海波;姜丽娟;邱爱芹;介芳 主分类号 H01L29/66(2006.01)I IPC主分类号 H01L29/66(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L29/739(2006.01)I 专利有效期 一种氮化镓基绝缘栅双极晶体管 至一种氮化镓基绝缘栅双极晶体管 法律状态 说明书摘要 本申请公开了一种氮化镓基绝缘栅双极晶体管,该氮化镓基绝缘栅双极晶体管从下至上依次包括:集电极金属层、P+氮化镓衬底、N-型氮化镓漂移层、P+氮化镓注入区、N+氮化镓注入区、SiO2介质层、栅极金属层、SiO2介质层和发射极金属层。该晶体管的制造工艺过程简单、重复性好、可靠性高。经过合理的外延层结构设计与合适的注入掺杂,实现了氮化镓基绝缘栅双极晶体管所需的基本材料结构。此外,该晶体管保证了器件具有很高的击穿电压与通态电流。

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