一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔

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专利名称 一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔 申请号 CN201620035198.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205374283U 公开(授权)日 2016.07.06 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 徐杨兵;候玉斌;盛志高 主分类号 G01N21/03(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/03(2006.01)I;G01N21/15(2006.01)I 专利有效期 一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔 至一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔,包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体;所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接,多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接,超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接,超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接,上腔体与光学窗口真空密封连接,光学窗口与窗口保护腔体连接。本实用新型适合在小口径长距离条件中运用,产生高真空环境,可以供光学探测材料光学性质使用。

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