| 专利名称 | 一种板级系统局部芯片辐照装置 | 申请号 | CN201520435645.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205317864U | 公开（授权）日 | 2016.06.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘刚;高博;罗家俊;赵发展;刘梦新 | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R31/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种板级系统局部芯片辐照装置 至一种板级系统局部芯片辐照装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种板极系统局部芯片辐照装置，包括：屏蔽盒，所述屏蔽盒为空心长方体结构，所述立方体结构包括底面、位于底面上方的第一侧面、与底面和第一侧面相连的第二侧面以及与第二侧面相平行的第三侧面，所述第二侧面和第三侧面上存在用于固定板极系统的插槽；辐照孔，所述辐照孔位于长方体结构中，其截面形状与待辐照芯片的形状相同，所述辐射孔内孔的截面积与待辐照芯片面积相等，外孔截面积大于待辐照芯片面积；填充块，所述填充块为长方体结构，用于屏蔽板极系统上除待辐射芯片以外的其他芯片。本实用新型提供的装置可以很好的屏蔽非受试芯片，并能尽可能减少散射对试验结果的影响，进而更好的评估器件的抗总剂量水平。 |
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