| 专利名称 | 一种极紫外光源性能参数的测量系统 | 申请号 | CN201520900632.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205317449U | 公开（授权）日 | 2016.06.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 谢婉露;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇;崔惠绒 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种极紫外光源性能参数的测量系统 至一种极紫外光源性能参数的测量系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室，其中设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；所述旋转转盘的支撑调节结构包括：第一调节杆，将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上。 |
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