| 专利名称 | 气囊式晶片粘结助压手柄 | 申请号 | CN201521114038.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205237802U | 公开（授权）日 | 2016.05.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 卓世异;黄维;王乐星;陈辉;庄击勇;刘学超;施尔畏 | 主分类号 | B24B37/34(2012.01)I | IPC主分类号 | B24B37/34(2012.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 专利有效期 | 气囊式晶片粘结助压手柄 至气囊式晶片粘结助压手柄 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种气囊式晶片粘结助压手柄，包括：内置通气管道的握柄；能装卸地安装于所述握柄的梢端的气囊；和设于所述通气管道上的气阀；所述通气管道的一端与所述气囊连通，所述通气管道的另一端与供气单元相连通。本实用新型用于晶片粘结后挤出气泡、压按平整。 |
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