| 专利名称 | 一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置 | 申请号 | CN201521120324.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205237737U | 公开（授权）日 | 2016.05.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 陈辉;庄击勇;黄维;王乐星;卓世异;施尔畏 | 主分类号 | B24B7/16(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B7/16(2006.01)I;B24B7/22(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I | 专利有效期 | 一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置 至一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种用于碳化硅晶体偏角整形的装置，包括：夹持晶锭的夹具；调节偏角方向的偏角调节模块；以及吸附于磨床的基底；其中，所述偏角调节模块为双正弦模块。本实用新型可保证碳化硅晶体偏角晶面的一次定向成型，避免了常规偏角整形时多次修正的过程，有效提高了整形效率，且本实用新型操作简单、精度较高。 |
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