集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件

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专利名称 集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件 申请号 CN201520978996.3 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205245669U 公开(授权)日 2016.05.18 申请(专利权)人 中国科学院上海技术物理研究所 发明(设计)人 刘大福;徐勤飞;莫德锋;陆华杰;徐琳;蒋梦蝶;王煜宇 主分类号 F25D29/00(2006.01)I IPC主分类号 F25D29/00(2006.01)I 专利有效期 集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件 至集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件 法律状态 说明书摘要 本专利公开了一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件,组件由外壳、管帽、光学窗口等部分组成。组件带有抽气口、进出液口,在其内部集成了可工作在深低温的制冷装置及大功率探测器芯片,对于100K左右的制冷温度,可选用液氮作为导冷循环液。工作时液氮从进液口进入到制冷装置,在制冷装置内部循环后从出液口排出。工作时抽气口接真空泵,对探测器内部抽气,避免内部芯片表面结冰。该组件可以对100W~500W的芯片进行制冷,实现芯片在100K以下的持续工作。

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