| 专利名称 | 一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置 | 申请号 | CN201520979113.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205246559U | 公开（授权）日 | 2016.05.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 周梅华;虞慧娴;孙士文 | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/88(2006.01)I | 专利有效期 | 一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置 至一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置，装置包括一框架，该框架由样品台、下底板、左侧挡板、顶盖、右侧挡板和中间隔板组成；所述顶盖与中间隔板上等间距分布若干螺孔，用于安装光源若干；所述框架顶盖上设置有若干电源开关，该开关位置与光源相互对应；所述样品台放置在下底板上，可自由移动；所述左侧挡板设有电源总开关，与顶盖上的电源开关和光源通过电线串并联。本专利通过使用可见光拍照技术，对碲锌镉晶片表面腐蚀坑缺陷分布进行观察和记录，可以快速获得整个晶片的缺陷分布形貌。 |
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