| 专利名称 | 一种星形探针定位装置 | 申请号 | CN201520733518.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205192455U | 公开（授权）日 | 2016.04.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 马娜娜;付西红;周美英 | 主分类号 | G01B21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种星形探针定位装置 至一种星形探针定位装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种星形探针定位装置，包括底板和垂直固定在底板上的立杆，底板上设有定位孔；立杆上设有导轨，导轨上限位有滑块，滑块能够沿立杆的轴向滑动；滑块上设有定位头，定位头与底板平行，定位头用于限位在待定位探针组件磁性吸盘定位槽的中心处；所述定位孔用于安装待定位探针组件的探针座，探针座安装在定位孔时，待定位探针组件的连接杆与底板垂直，定位头与探针座的X轴或Y轴垂直。本实用新型结构简单，定位方法快捷，减少人为测量误差，进一步提高了探针组件的测量效率和应用范围。 |
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