| 专利名称 | 一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块 | 申请号 | CN201520857619.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205177771U | 公开（授权）日 | 2016.04.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 李京华;渠团帅;仓怀文;李东明;邸尚华;李海洋 | 主分类号 | H01J49/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块 至一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块，该三通模块包括：进气孔道、出气孔道A和出气孔道B构成的三通且有一个共同的连接端口，即进气孔道的出口分别与出气孔道A和出气孔道B的进口相连接，进气孔道的内径大于出气孔道A的内径，出气孔道A的内径大于出气孔道B的内径。进气孔道远离连接端口的另一端口对应的为进气口，出气孔道A远离连接端口的另一端口对应的为出气口A，出气孔道B远离连接端口的另一端对应的为出气口B，气体从进气口进入三通，从出气口A和出气口B流出三通模块。本实用新型可以提供稳定而按比例分配的气体流量。 |
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