光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置

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专利名称 光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置 申请号 CN201520953338.9 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN205157470U 公开(授权)日 2016.04.13 申请(专利权)人 中国科学院兰州化学物理研究所 发明(设计)人 刘佳梅;毕迎普;焦正波;黄晓卷;杨培菊;任伟;牛建中 主分类号 G01N23/227(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/227(2006.01)I 专利有效期 光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置 至光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种光照-X射线光电子能谱同步分析测试装置,该装置包括置于真空腔室内的X射线源、电子传输透镜、电子能量分析器和检测器,该装置还包括外载光源,该外载光源包括光源探头、光源发生器和光源控制器;光源发生器置于真空腔室的外部,其与光源探头和光源控制器相连;光源探头发出的光照射样品表面;光源控制器设置于真空腔室的外部。本实用新型在目前的X射线光电子能谱技术上增加一种外载光源,实现了外载光源及X射线同步照射材料表面进行物性分析,扩展了X射线光电子能谱表征分析技术应用范围,进而可以准确研究材料内部的物理性质。

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