| 专利名称 | 一种仿生壁虎脚刚毛阵列的制作方法 | 申请号 | CN201410455125.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105460885A | 公开（授权）日 | 2016.04.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 曾春红;俞骁;李晓伟;林文魁;张宝顺 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种仿生壁虎脚刚毛阵列的制作方法 至一种仿生壁虎脚刚毛阵列的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种仿生壁虎脚刚毛阵列的制作方法，其可以包括：选择上层为（100）型硅，下层具有自腐蚀停止层的材料作为衬底；在上硅层表面沉积抗腐蚀层并对其图形化形成抗腐蚀掩膜；利用硅各向异性腐蚀方法将暴露的硅结构腐蚀成横截面为梯形的长条；去除剩余的抗腐蚀掩膜，露出硅结构；用喷胶工艺或厚胶旋涂的方法在硅结构上涂覆光刻胶并光刻；采用金属或者其他材料沉积刚毛结构，剥离去掉残余的光刻胶；最后采用硅的各向同性刻蚀释放牺牲层硅，形成仿生壁虎脚刚毛结构阵列。本发明工艺简单，成品率高，适合大批量制造，所制备的仿生壁虎脚刚毛阵列具有工作寿命长，结构强度大等优点，在壁虎足部形态仿生学等领域具有广泛应用前景。 |
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