| 专利名称 | 一种新型真空用湿气充入装置 | 申请号 | CN201520908702.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205088302U | 公开（授权）日 | 2016.03.16 | 申请（专利权）人 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 发明（设计）人 | 何吉刚;马宁;蒋冰霜;魏琼林;蒙志林;雷梁;冉从军 | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 专利有效期 | 一种新型真空用湿气充入装置 至一种新型真空用湿气充入装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种新型真空用湿气充入装置，包括真空罐体，真空罐体的进气口和抽气口分别设置有湿气发生器和抽气机，湿气发生器与进气口之间的管路设置有充气调节阀，充气调节阀连接有调节阀控制器，真空罐体还安装有湿度计和观察窗，湿度计的上端部设置有湿度计显示器和湿度计开关按钮，湿度计的下端部设置有湿度计测量口，湿度计显示器位于观察窗的正下方，湿度计测量口靠近进气口，真空罐体的顶部设置有可以按下的开关按钮真空密封轴，开关按钮真空密封轴位于湿度计开关按钮的正上方。本实用新型可精确定量的充入镀膜用反应湿气，重复性好，所镀的真空薄膜比较理想。 |
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