| 专利名称 | 基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器 | 申请号 | CN201520894592.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205091287U | 公开（授权）日 | 2016.03.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;郭联峰;梁晨;王跃林 | 主分类号 | G01N27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/00(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I | 专利有效期 | 基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器 至基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器，包括：微加热器平台衬底及硫掺杂石墨烯；所述微加热器平台衬底上设有测试电极及加热器；所述硫掺杂石墨烯至少覆盖所述测试电极。本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器可采用圆片级衬底，实现圆片级制备，达到批量制造的水平，大大降低生产成本；本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器对氮氧化物气体分子具有较高的灵敏度和选择性，可有效降低水蒸气等其它气体对检测的影响，提高检测的精确度。 |
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