| 专利名称 | 一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的方法及装置 | 申请号 | CN201510813422.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105355534A | 公开（授权）日 | 2016.02.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 黄超 | 主分类号 | H01J49/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J49/04(2006.01)I | 专利有效期 | 一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的方法及装置 至一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本公开提供了一种实现电感耦合等离子体离子源工作在惰性气体环境的方法及装置，其中该装置包括：安装在所述离子源与采样锥之间的屏蔽罩；以及设于所述离子源上并与所述屏蔽罩的内部连通的开口；其中，所述屏蔽罩与所述采样锥之间设有一定间隙，惰性气体通过所述开口流入所述屏蔽罩的内部并经所述间隙流出到所述屏蔽罩之外。 |
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