| 专利名称 | 混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置 | 申请号 | CN201520736442.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205035460U | 公开（授权）日 | 2016.02.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 周明;丁逸君;张莉;刘定权 | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/26(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 专利有效期 | 混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置 至混合材料的薄膜电阻蒸发沉积装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种混合材料的薄膜电阻蒸发装置。装置采用单个电源和单个变压设备，而多个蒸发舟并联接入电路。根据电阻公式R＝ρ·L/S，ρ为电阻的电阻率，L为电阻的长度，S为电阻的横截面积。在蒸发舟材料，厚度和长度固定的情况下，改变蒸发舟宽度，来调节蒸发舟电阻大小。各个蒸发舟上可获得不同蒸发功率比，从而可调节不同蒸发舟上材料的沉积速率比。 |
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