| 专利名称 | 一种二氧化碳气体超微流速控制系统 | 申请号 | CN201520666277.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205015767U | 公开（授权）日 | 2016.02.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院地球环境研究所 | 发明（设计）人 | 付云翀;程鹏;杜花;刘起;黄春海 | 主分类号 | G05D27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G05D27/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种二氧化碳气体超微流速控制系统 至一种二氧化碳气体超微流速控制系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种二氧化碳气体超微流速控制系统，包括单向阀、离子源与质量流量计，其中所述单向阀的进口处设有二氧化碳进气管，单向阀的出口处设有第一三通阀，所述质量流量计与第一三通阀的另一侧相连，质量流量计的另一侧设有氦气进气管，第一三通阀的最后一侧设有精确控温冷阱，精确控温冷阱包括冷阱与液氮保温箱，其中冷阱位于液氮保温箱内，精确控温冷阱的另一侧设有第二三通阀，第二三通阀的另外两侧分别设有真空系统与所述离子源。本实用新型是一种控制二氧化碳流速控制系统，本实用新型主要是保证本二氧化碳处于低温环境下，使得二氧化碳蒸汽压极低且可控，从而控制其流速达到超微流速。 |
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