| 专利名称 | 晶硅制绒槽 | 申请号 | CN201520662516.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN205004346U | 公开（授权）日 | 2016.01.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘尧平;陈伟;杨丽霞;杜小龙 | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 晶硅制绒槽 至晶硅制绒槽 | 法律状态 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种晶硅制绒槽，包括沿所述晶硅的操作方向依次排列的金属催化刻蚀槽、残余金属清洗槽、二次清洗槽和干燥预处理槽。本实用新型的晶硅制绒槽成本低、通用性好，能用于单晶硅和多晶硅的制绒工艺中。 |
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