| 专利名称 | 双色探测器 | 申请号 | CN201410328394.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105280748A | 公开（授权）日 | 2016.01.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 付凯;刘翌寒;高华杰;张宝顺 | 主分类号 | H01L31/09(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I | 专利有效期 | 双色探测器 至双色探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种双色探测器，其特征在于，所述双色探测器采用纵向集成结构，自下而上依次包括衬底、铝镓氮材料层、金属叉指电极、绝缘介质层、石墨烯材料层以及金属电极。该探测器中两种波段的探测器件具有自下而上的集成结构，减小了器件尺寸，降低了制备工艺和探测系统的复杂性。 |
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