| 专利名称 | 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法 | 申请号 | CN201510713929.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105271361A | 公开（授权）日 | 2016.01.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海应用技术学院 | 发明（设计）人 | 陈滢;许鹏程;李昕欣;徐涛;郑丹 | 主分类号 | C01G9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C01G9/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法 至一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。 |
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