| 专利名称 | 一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法 | 申请号 | CN201510755793.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105244391A | 公开（授权）日 | 2016.01.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 张戎;曹俊诚;邵棣祥 | 主分类号 | H01L31/0352(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法 至一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器及其制备方法，所述宽响应谱的太赫兹量子阱光电探测器包括：衬底、下电接触层、第一多量子阱层、中电接触层、第二多量子阱层以及上电接触层。本发明具有以下有益效果：本发明的太赫兹量子阱光电探测器具有非常宽的响应谱，单个器件即可有效覆盖1.5~8THz频率范围，半高宽达2.84THz，比现有普通太赫兹量子阱光电探测器提升约89%。本发明结构和制作方法简单，效果显著，在半导体光电器件技术领域具有广泛的应用前景。 |
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