| 专利名称 | 共振隧穿二极管近红外探测器 | 申请号 | CN201510547194.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105244407A | 公开（授权）日 | 2016.01.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 裴康明;倪海桥;詹锋;董宇;牛智川 | 主分类号 | H01L31/11(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/11(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I | 专利有效期 | 共振隧穿二极管近红外探测器 至共振隧穿二极管近红外探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种共振隧穿二极管近红外探测器，包括：一衬底；一集电区接触层，其制作在衬底上，集电区接触层一侧的上面形成一台面；一集电区，其制作在集电区接触层上台面的一侧，该集电区为圆形；一吸收层，其制作在集电区上；一空穴堆积层，其制作在吸收层上，其直径小于吸收层的直径；一双势垒结构，其制作在空穴堆积层上；一隔离层，其制作在双势垒结构上；一发射区，其制作在隔离层上；一上电极，其制作在集电区上；一下电极，其制作在集电区接触层一侧的台面上。本发明可以降低探测器暗电流及提高探测器的灵敏度。 |
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