| 专利名称 | 抽取清洗残余废气的气嘴结构 | 申请号 | CN201510628671.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105215008A | 公开（授权）日 | 2016.01.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 张志研;林学春;王奕博;于海娟;刘燕楠;梁浩;高文焱;林康 | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B7/00(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I;B21B45/06(2006.01)I | 专利有效期 | 抽取清洗残余废气的气嘴结构 至抽取清洗残余废气的气嘴结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括：一外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔；一内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口；其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。 |
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