| 专利名称 | 气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置 | 申请号 | CN201520489578.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204898064U | 公开（授权）日 | 2015.12.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院金属研究所 | 发明（设计）人 | 姜辛;刘鲁生;史丹;贾文博;黄楠;刘宝丹 | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/27(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 专利有效期 | 气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置 至气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置。该装置在密闭真空室中设置反应腔，反应腔顶端设有循环通风口，循环通风口的下方反应腔中并排设置加热管组，反应腔内加热管组的下方设有放置硅片衬底的衬底盘，衬底盘上设有热电偶；真空室的顶部设有进气口，真空室的底部设有抽气口；循环进风口通过管路与真空室的侧面连通，形成外循环风道。本实用新型可以实现金刚石膜的大面积、高速率生长，并减少氢气的消耗，降低生产成本。 |
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