| 专利名称 | 一种气体配气装置 | 申请号 | CN201520231780.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204825047U | 公开（授权）日 | 2015.12.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;王光红 | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 专利有效期 | 一种气体配气装置 至一种气体配气装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种气体配气装置，包括大流量气体管道及小流量气体管道。小流量气体管道的气体出口端穿过大流量气体管道的管壁，插入到大流量气体管道中并与大流量气体管道焊接固定。大流量气体管道的气体进口与大流量气体流量计连接，大流量气体管道的气体出口与电极气体进口连接。小流量气体管道进入大流量气体管道部分的长度等于大流量气体管道的半径。小流量气体管道进入大流量气体管道部分的顶端为一斜口，斜口与小流量气体管道的轴的夹角约为45°。斜口的开口朝向大流量气体管道的气体出口，与大流量气体管道中气体流动方向一致。每一小流量气体管道通入一种小流量气体，当小流量气体多于一种时，多根小流量气体管道相互错开布置。 |
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