| 专利名称 | 扫摆式干涉仪控制系统 | 申请号 | CN201510555432.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105115601A | 公开（授权）日 | 2015.12.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 发明（设计）人 | 李胜;李相贤;高闽光;张玉钧;王亚萍;陈军;徐亮;金岭;童晶晶;石建国;李妍;刘文清 | 主分类号 | G01J3/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J3/06(2006.01)I;G01J3/45(2006.01)I | 专利有效期 | 扫摆式干涉仪控制系统 至扫摆式干涉仪控制系统 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明属于光电检测领域，具体涉及一种扫摆式干涉仪控制系统，包括方向检测单元、中点检测单元、速度检测单元、距离检测单元、驱动单元、单片机，单片机接收所述方向检测单元、扫描中点检测单元、运动速度检测单元、运动距离检测单元检测的动镜运动方向信号、过中点信号、光程差变化速度信号以及光程差变化量信号，并根据这些信号以及预设的扫描速度和扫描距离来控制驱动单元驱动所述动镜摆动。 |
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