| 专利名称 | 一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器 | 申请号 | CN201510388715.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105129719A | 公开（授权）日 | 2015.12.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 杨晋玲;吕兴东;魏伟伟;张金英;杨富华 | 主分类号 | B81B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器 至一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行器，其由两个可动的弹性结构串联而成，可以在电流和磁场的作用下，利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流，就能实现很大的位移。通过控制电流的方向，两个结构既可以实现相向运动，相互合并；也可以实现反向运动，相互分离。 |
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