| 专利名称 | 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法 | 申请号 | CN201510341090.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105129718A | 公开（授权）日 | 2015.12.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 冯飞;王跃林;李昕欣 | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01J5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学读出红外探测器结构及其制作方法 至一种光学读出红外探测器结构及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种光学读出红外探测器结构及其制作方法，所述探测器结构至少包括：玻璃衬底和通过第二锚悬空于所述玻璃衬底上的悬浮结构；所述悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁；所述可见光反射层悬空于所述玻璃衬底上，所述红外吸收层通过第一锚悬空于所述可见光反射层上，所述支撑梁悬空于所述可见光反射层上，并且所述支撑梁的一端与同一平面内的所述红外吸收层相连、另一端通过第二锚固定于所述玻璃衬底上。本发明的探测器结构通过将可见光反射层和红外吸收层分离，避免了可见光反射层由于双材料效应导致变形，且可见光反射层面积的增加提高了可见光的利用率，从而使红外探测器同时满足对器件各方面的要求，提高器件的综合性能。 |
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