| 专利名称 | 相位掩模板切换装置 | 申请号 | CN201510289804.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105204295A | 公开（授权）日 | 2015.12.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;南京派光信息技术有限公司 | 发明（设计）人 | 叶青;王迪;李璇;皮浩洋;陈高庭;蔡海文 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B6/02(2006.01)I | 专利有效期 | 相位掩模板切换装置 至相位掩模板切换装置 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 用于相位掩模板写入法刻写光栅的阵列型相位掩模板切换装置与阶梯型相位掩模板切换装置，由相位掩模板夹具或相位掩模板夹具组合，两个一维电控位移平台、转接架与控制系统构成，与在先技术相比，本发明大大简化了光纤光栅刻写时的操作，可实现光纤光栅的自动化刻写，并且能够提高刻写光栅的质量与重复性。 |
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