| 专利名称 | 半导体薄膜材料的实时质量检测系统 | 申请号 | CN201520385321.8 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204789334U | 公开（授权）日 | 2015.11.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 李宝吉;卢建娅;杨文献;陆书龙 | 主分类号 | G01N21/63(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/63(2006.01)I | 专利有效期 | 半导体薄膜材料的实时质量检测系统 至半导体薄膜材料的实时质量检测系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种半导体薄膜材料的实时质量检测系统，其主要利用半导体薄膜材料的发光原理检测材料的内部缺陷、带隙结构以及组分均匀性等材料特点。该检测系统包括：激光光源系统，用以提供设定波长的激光光束照射待检测半导体薄膜；光信号接收系统，包括：光信号接收装置，用以采集待检测薄膜被所述激光光束激发而发出的激发光线，并输出对应检测信号，以及，信号显示处理装置，用以接收、处理和显示该检测信号；该光信号接收装置与信号显示处理装置连接。本实用新型结构简单，易于操作，并可以实时在线进行常温发光半导体材料的质量检测，进而可以通过检测结果而适时调节生长条件并获得目标半导体材料，且在一定程度上降低生长所需成本。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障