| 专利名称 | 步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置 | 申请号 | CN201510428824.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105068380A | 公开（授权）日 | 2015.11.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 林栋梁;马兴华;任冰强;陈明;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置 至步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种步进扫描光刻机的自消除振动力的扫描狭缝装置，特点在于该装置包括狭缝基框、上组件、下组件、Y向平衡质量系统、右组件、左组件和X向平衡质量系统，本发明在不影响刀口的运动和定位的同时，可完全消除振动力。 |
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