| 专利名称 | 一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 | 申请号 | CN201510338390.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105039153A | 公开（授权）日 | 2015.11.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 俞育德;魏清泉;刘勇;李钊;孙英男;刘文文;蒋莉娟 | 主分类号 | C12M1/38(2006.01)I | IPC主分类号 | C12M1/38(2006.01)I;C12M1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 至一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于PCR技术领域，具体涉及一种硅基阵列微反应池数字PCR芯片及其制备方法。该芯片主要包括上盖和芯片，其中在芯片上有蜂窝状排列的微孔，上盖固定于芯片槽上。具体步骤为选择一单面抛光的硅片，清洗，在硅片抛光面上旋涂一层均匀的光刻胶，通过曝光形成圆形的图形阵列，在圆形的图形阵列掩膜下干法刻蚀硅，形成微孔结构，去胶划片，完成芯片制备。 |
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