| 专利名称 | 一种适用纳米材料的电极的工业化生产设备及其控制方法 | 申请号 | CN201510288806.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104986723A | 公开（授权）日 | 2015.10.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 魏秋实;徐金伟;曾杰 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种适用纳米材料的电极的工业化生产设备及其控制方法 至一种适用纳米材料的电极的工业化生产设备及其控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出了一种适用纳米材料的电极的工业化生产设备及其控制方法，涂胶系统用于在电极基底表面涂覆正性光致抗蚀剂；曝光系统用于在电极基底上涂覆正性光致抗蚀剂一侧表面接触放置光掩膜基版后进行曝光处理；镀膜系统用于在电极基底表面镀上导电金属膜层；后处理系统用于将电极基底浸泡在有机溶液中进行超声处理，在超声处理过程中包覆在未曝光的正性光致抗蚀剂表面的导电金属膜层从其上破裂脱落，进而未曝光的正性光致抗蚀剂在有机溶液中溶解以在电极基底表面形成适用纳米材料的宽度为微米量级的电极沟槽，通过检测电极沟槽两侧电极基底的回路导通情况控制超声处理的工作状态，在超声完成之后进行干燥处理和电极裁剪处理。 |
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