| 专利名称 | 一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针 | 申请号 | CN201520338048.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204721702U | 公开（授权）日 | 2015.10.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 发明（设计）人 | 顾玉明;胡纯栋;谢亚红;谢远来;李军;杨思皓;邑伟 | 主分类号 | H05H1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H05H1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针 至一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种离子源快接可伸缩水冷型朗缪尔双探针，包括有探针芯、探针管、法兰座、陶瓷座，探针管的一端与法兰座钎焊在一起，探针管的该端还钎焊有冷却水进、出水管，探针芯和陶瓷座焊接在一起，陶瓷座螺纹固定在探针管上，探针管内开设有与冷却水进、出水管相通的冷却水水槽，探针管中内置两根铁氟龙导线，法兰座上通过卡箍和密封圈密封固定有两个法兰电极，两法兰电极的一端伸入至探针管与两铁氟龙导线连接，两铁氟龙导线的另一端与探针芯连接。本实用新型可以满足需要离子源朗缪尔双探针自由伸缩长度、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。 |
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