| 专利名称 | 一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制装置 | 申请号 | CN201520225591.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204720770U | 公开（授权）日 | 2015.10.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 马英麒;徐向宇;郑凯元;周翊;王宇 | 主分类号 | H01S3/032(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/032(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制装置 至一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制装置，两个时序采集单元分别采集MO腔和PA腔的脉冲放电信号；延时测量单元根据两个时序采集单元采集的脉冲放电信号获得MO腔和PA腔之间的出光延时值；状态采集单元采集MO腔和PA腔的状态信息；主控单元根据出光延时值、延时设定值和状态采集单元采集的状态信息，执行闭环控制算法，获得放电延时的更新值，并将该值送给延时输出单元；延时输出单元接受双腔放电延时的更新值，同时触发脉冲分为对应于双腔放电延时的更新值的两个脉冲输出给两个电源和第二电源以触发放电。本实用新型能够消除温度漂移和腔内压强的变化对电源同步放电的影响，实现双腔放电抖动小于±5ns。 |
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