| 专利名称 | 防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法 | 申请号 | CN201510270786.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104986721A | 公开（授权）日 | 2015.10.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 柳瑞丛;刘媛媛 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 专利有效期 | 防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法 至防酸、碱腐蚀的保护罩及其使用方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种保护硅片单面图形不受到湿法腐蚀影响的保护罩及其使用方法。保护罩采用顶板和底板将需要图形保护的芯片夹在中间，项板和底板之间通过紧固螺钉来密封连接；顶板、底板和芯片之间分别放置橡胶圈，通过橡胶圈的压缩形变来实现密封；底板中心有一圆形通孔，腐蚀液通过此通孔腐蚀芯片背面；密封的上盖板中心有一圆形凹槽，凹槽内注水，以防腐蚀液渗入胶圈内侧直接腐蚀硅片。保护罩将芯片需要保护的一面浸泡在其他液体中，使其免受湿法腐蚀的破坏。整体结构容易拆装，结构简单，使用方便，通过更换密封圈，可以实现反复使用。 |
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