| 专利名称 | 速调管电子枪除气台 | 申请号 | CN201510408460.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104966653A | 公开（授权）日 | 2015.10.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 王博锋;周冠丽;胡旭华;周健勇 | 主分类号 | H01J9/39(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J9/39(2006.01)I;H01J23/06(2006.01)I;H01J25/10(2006.01)I | 专利有效期 | 速调管电子枪除气台 至速调管电子枪除气台 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种速调管电子枪除气台。该速调管电子枪除气台包括：台架；第一工作台和第二工作台，相互独立地设置于台架的工作台面上，用于容置待除气的速调管电子枪；真空系统，用于对两工作台抽真空；电极系统，用于为容置于两工作台内的速调管电子枪提供电流和电压；以及电气控制系统，用于对第一工作台和第二工作台内真空度进行监测，并对真空系统和电极系统进行控制。本发明中，双工位工作台能够独立或同时工作，且其中一工位放大气后，另一工位的真空度不低于6×10-6Pa，有效缩短了电子枪的制作周期，提高了工艺效率。 |
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