| 专利名称 | 一种光刻照明系统中的相干因子调整装置 | 申请号 | CN201510393722.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104965391A | 公开（授权）日 | 2015.10.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 卢亮;张海波;林妩媚 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光刻照明系统中的相干因子调整装置 至一种光刻照明系统中的相干因子调整装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括：反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经过后方的均匀照明子系统后在掩模面上获得均匀的光强分布。本发明利用简单的方法实现了相干因子的多档变化，提高系统透过率，达到简化结构降低成本的目的。 |
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