| 专利名称 | 集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器 | 申请号 | CN201520371925.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN204680670U | 公开（授权）日 | 2015.09.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘向阳;王玲;张燕;刘诗嘉;许金通;李向阳 | 主分类号 | H01L27/144(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/144(2006.01)I | 专利有效期 | 集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器 至集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种集成微透镜阵列的背照式紫外焦平面探测器。背照式紫外焦平面探测器由以下几个部分组成：紫外光敏元阵列芯片、读出电路、混成互连铟柱、微透镜阵列。微透镜阵列在紫外光敏元阵列芯片的宝石片衬底上采用光刻胶光刻、高温成型、等离子体刻蚀等步骤加工形成。本专利的优点是：集成微透镜阵列之后，紫外光敏元的面积可以大幅度减少，从而使紫外光敏元具有高的零偏压动态电阻R0和小的结电容，从而有利于减小读出电路的噪声以及提高紫外探测器的探测率。 |
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