一种横向剪切干涉仪

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专利名称 一种横向剪切干涉仪 申请号 CN201510304803.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN104949756A 公开(授权)日 2015.09.30 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 白清兰;李立波;邹纯博;李思远;孙剑;赵强;冯玉涛;闫鹏;胡炳樑 主分类号 G01J3/45(2006.01)I IPC主分类号 G01J3/45(2006.01)I 专利有效期 一种横向剪切干涉仪 至一种横向剪切干涉仪 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种横向剪切干涉仪,包括两块相同的半立方屋脊棱镜;半立方屋脊棱镜包括棱镜一和棱镜二;棱镜一为屋脊棱镜,屋脊棱镜包括两个直角面和一个斜面,两个直角面为屋脊面;棱镜二为直角棱镜,直角棱镜包括直角面一和直角面二;所述棱镜一的斜面设置在直角面一上,棱镜二的斜面为分束面,一个半立方屋脊棱镜的直角面二为入射面,另一个半立方屋脊棱镜的直角面二为出射面;本发明具有交互垂直的主截面,其胶合过程对齐方向和横向剪切方向不在一个平面内,产生的残留对齐误差不会带来剪切量的误差,因而可方便准确地实现干涉仪的胶合与剪切量的调整。

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