| 专利名称 | 电子束光刻对准标记在芯片上的布局 | 申请号 | CN201410103327.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104932212A | 公开（授权）日 | 2015.09.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 牛洁斌;刘明;陈宝钦;谢常青;龙世兵;王冠亚;张建宏;李海亮;史丽娜;朱效立 | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 电子束光刻对准标记在芯片上的布局 至电子束光刻对准标记在芯片上的布局 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种电子束光刻对准标记在芯片上的布局，所述芯片包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域，所述第一区域包括所述芯片的中心，所述布局设置在所述第二区域，其包括，设置在所述第二区域的若干个对准标识符；相邻两个所述对准标识符之间设置有标识线。该布局更方便对准标记掩模板的制造，能更容易地在电子束套刻对准时寻找标记，能应用于任意大小形状的衬底，能够设置多组对准标记以满足多次电子束套刻对准曝光，而且该布局有利于提高芯片的利用率。 |
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