| 专利名称 | 一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置 | 申请号 | CN201510395139.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104932089A | 公开（授权）日 | 2015.09.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 张罗莎;王宇;吴晓斌;王魁波;罗艳;陈进新;谢婉露;丁功明 | 主分类号 | G02B19/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B19/00(2006.01)I;G02B5/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置 至一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种液滴阵列产生装置，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列。该装置能够应用于一系列需要提供高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列的系统中，例如在极紫外光源系统中对光源激发所产生的碎屑进行收集，降低碎屑对腔内其他系统表面的污染和损坏，并同时具有较高的碎屑收集效率及有较好的光源光谱透过率。 |
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