一种湿法腐蚀装置

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专利名称 一种湿法腐蚀装置 申请号 CN201520184874.7 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN204625174U 公开(授权)日 2015.09.09 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 苗斌;李加东;魏晓伟;吴东岷 主分类号 B81C1/00(2006.01)I IPC主分类号 B81C1/00(2006.01)I 专利有效期 一种湿法腐蚀装置 至一种湿法腐蚀装置 法律状态 说明书摘要 本申请公开了一种湿法腐蚀装置,包括腐蚀槽,该腐蚀槽具有一收容空间,所述收容空间内设置有一腐蚀架,所述腐蚀槽相对的两侧分别设有一进液口和一出液口,所述进液口和出液口之间通过循环管道连通,所述循环管道上设置有一循环泵。本新型的湿法腐蚀装置可以提供低真空环境,可以降低腐蚀液表面张力,加速滞留在腐蚀面上的气泡析出,改善腐蚀质量。循环搅拌装置可以使腐蚀液流动起来,起到搅拌作用,并且可以使腐蚀液温度分布更为均匀。

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