| 专利名称 | 一种EUV反射镜清洗装置 | 申请号 | CN201510229051.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN104874569A | 公开（授权）日 | 2015.09.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 彭忠琦;卢启鹏;龚学鹏;王依;宋源 | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种EUV反射镜清洗装置 至一种EUV反射镜清洗装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H0原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H0原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射池（4）；该清洗装置相比现有的清洗装置，增设了用于H0原子浓度调节的球阀（3）和用于H0原子导向的导向喷射池（4），具有结构简单，设计合理，使用方便，H0原子喷射浓度可调，光学元件清洗效果好，清洗效率高等优点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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